日本为何弄丢了高端光刻机市场

俞天任

老电影《南征北战》里有一句很著名的台词:“不是敌人太狡猾，而是我们太无能。”其实尼康等日企可以用这句话来概括他们与总部位于荷兰的阿斯马尔的竞争及其结果。

日本的尼康和佳能也在本世纪初占领了光刻机的大部分市场，而阿斯马尔则在1988年正式独立。由于历史如此短暂，阿斯马尔在2010年的市场份额为80%，将日本公司推回到17%。当然，日本企业并没有被完全赶出市场，还在做低端的光刻机。然而，光刻机行业的利润主要集中在两个最先进的型号上。

之所以会发生这么大的逆转，并不是因为阿斯麦掌握了什么黑科技，而是因为客户、企业制度、企业文化等技术之外的因素。

从2005年到2010年，英特尔占尼康销售额的一半以上，东芝占20%，阿斯马尔的客户依次是三星、海力士和TSMC。尼康客户侧重于复杂度高的微处理器等专业化产品，需要在生产过程中进行微调，而Asmall用户侧重于闪存等通用产品，更注重可操作性和统一性。

尼康和阿斯马尔采用的系统结构也不一样。尼康用的是集成，阿斯马尔用的是模块化。从两家公司的历史文化来看，选择不同是必然的。日本企业的零部件自制率非常高，即使不自己做，也是配套企业为自己做的。尼康的光刻机也是如此，除了光源以外的所有部件都是自产的。这就形成了一个成本最低、结构最紧凑、运行最经济、效率最高的集成系统结构。但历史短暂的阿斯马尔却做不到这一点。Asmel mask aligner拥有自己的控制软件，其他部分都是购买的，比如蔡司拥有的镜头，飞利浦拥有的控制器。系统集成效率高，但当设计理念发生革命性变化时，会因其优化特性而僵硬，修改起来非常困难。

本世纪初，光刻机出现了两次革命性的变化:双扫描和湿法生产。Asmall在2000年左右使用双扫描，在2004年使用浸入式光刻。然而，尼康在2005年开始采用这两种技术，落后于阿斯马尔。这两项技术本身并不伟大，尼康只是没有及时采用而已。原因是一体化的系统结构很难改变，尼康客户群的特点也钝化了它的技术敏感性。其客户的产品都是特殊产品，竞争也不是很激烈，不像通用品厂商追求的差异化，这也让尼康有一种错觉。

另外，尼康的客户基本都有自我调节的能力，这就使得尼康对元器件之间的关系知之甚少，有时候甚至比客户还不如。另一方面，Asmayne的客户都是新参与者，厂家发货时必须调试到位，增加了厂家学习的机会。由于其系统结构是模块化的，容易掌握，因此，阿斯麦比尼康更了解自己设备的系统结构，阿斯麦与用户和供应商的联系也更紧密。

光刻机市场不大，容易被个别企业垄断。一步一步跟不上，一步一步跟不上。由此，阿斯马尔占据了高端光刻机的大部分市场份额，尼康等日企纷纷倒下。阿斯马尔垄断高端光刻机市场不是因为别人做不到，而是资本和市场的特性在起作用。

现在，中国已经被高端光刻机市场强力隔离，中国的产能本身就创造了一个很大的市场。虽然短时间内很难在市场上直接采购到高端的光刻机，但是光刻机本身的技术和零部件不受瓦森纳协议的约束。在这个前提下，阿斯马尔的成功并非不可能重现。

(摘自《中国新闻周刊》)